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我省新一代高效节能真空干泵研制取得新进展

发布时间:2020-07-20  来源:信息技术发展与产业化处

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  由中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司承担的2019年度辽宁省科技创新重大专项“新一代高效节能真空干泵研发和示范应用”项目取得重要进展。该项目攻克了新型电机高效驱动、干泵热场分析、高转速下动平衡等关键技术,开发出具备智能控制、故障诊断、远程运维及自适应功能的节能型、小体积、大抽速干泵产品。目前该产品正在长江存储进行工艺验证。待产品通过测试认证后,将实现在12吋设备上的小批量应用,进一步提升了国产化半导体产品的产业化能力及国际市场竞争力。 

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