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拓荆科技“量产型SACVD设备研发与应用”项目荣获第四届“IC创新奖”

发布时间:2021-03-25  来源:信息技术发展与产业化处

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  2021年3月20日中国集成电路创新联盟组织召开“2021集成电路产业链协同创新发展交流会”拓荆科技股份有限公司量产型SACVD设备研发与应用”项目第四届“IC创新奖”技术创新奖此次征集活动面向全行业深度挖掘,共征集126家单位159个项目,申报单位和项目均为历届最多。 

  在国家科技重大专项和省科技重大专项的支持下,拓荆科技SACVD研发团队自主创新研发,在短短一年半的时间,成功研制了国内首台12英寸/8英寸量产型SACVD设备并实现应用顺利通过生产线成套工艺的考核验证,并投入量产,现已实现销售8台套。SACVD是芯片制造过程中所需的关键设备之一,也是亟需突破解决的“卡脖子”关键核心设备。拓荆SACVD设备的研制,不仅体现了国产装备的技术创新,也体现了国产装备的创新速度,代表了国产装备向高端的跃升。 

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