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“新一代高效节能真空干泵研发和示范应用”项目顺利通过结题验收

发布时间:2021-06-08  来源:信息技术发展与产业化处

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   近日,由中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司承担的2019年度辽宁省科技重大专项“新一代高效节能真空干泵研发和示范应用”项目顺利通过结题验收。 

  该项目针对集成电路生产线工艺对真空获得系统提出的特殊要求,完成了泵的智能控制、热场分布分区温控研究、高转速下动平衡等关键技术研究,研制出具备智能控制、故障诊断、远程运维及自适应功能的节能型、小体积、大抽速干泵产品。 

  该项目满足了国内整机设备厂商、Fab厂对小体积大抽速节能型干泵的迫切需求,应对国外同行的技术和市场挤压,摆脱了被动的市场竞争地位,实现了替代进口,全面提升了国产真空干泵在国际、国内市场的竞争力,为我省集成电路领域核心部件发展提供了有力技术支撑。 

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