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“IC装备关键零部件涂镀纯铝特种涂层制备技术攻关及产业化”项目顺利 通过结题验收

发布时间:2021-06-24  来源:信息技术发展与产业化处

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   日前,由沈阳富创精密设备股份有限公司承担的2019年度辽宁省科技重大专项“IC装备关键零部件涂镀纯铝特种涂层制备技术攻关及产业化”项目顺利通过结题验收。 

  该项目攻克了“超高致密纯铝涂层制备技术、复杂异形件表面纯铝涂层均匀控制技术、冷喷涂纯铝涂层的专用阳极化技术、铸造铝合金部件微孔等缺陷修复技术”等多项卡脖子关键技术,成功开发出腔体、接地基片等核心零部件产品,项目已申请PCT专利1项,国内发明专利3项,已授权实用新型专利3项,取得了丰硕科技成果。为国内龙头装备厂商北方华创、中科信、中意天航等企业进行零部件首件的研发和批量制造,打破了国外对中国集成电路产业的技术封锁,显著提升我国集成电路整机企业综合竞争力。 

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