日前，由沈阳富创精密设备股份有限公司承担的2019年度辽宁省科技重大专项“IC装备关键零部件涂镀纯铝特种涂层制备技术攻关及产业化”项目顺利通过结题验收。 

　　该项目攻克了“超高致密纯铝涂层制备技术、复杂异形件表面纯铝涂层均匀控制技术、冷喷涂纯铝涂层的专用阳极化技术、铸造铝合金部件微孔等缺陷修复技术”等多项卡脖子关键技术，成功开发出腔体、接地基片等核心零部件产品，项目已申请PCT专利1项，国内发明专利3项，已授权实用新型专利3项，取得了丰硕科技成果。为国内龙头装备厂商北方华创、中科信、中意天航等企业进行零部件首件的研发和批量制造，打破了国外对中国集成电路产业的技术封锁，显著提升我国集成电路整机企业综合竞争力。